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ULVAC 爱发科 DIS-501 双绕式涡旋干式真空泵 产品介绍玉崎科学原装现货
更新时间：2026-07-28
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ULVAC 爱发科 DIS-501 双绕式涡旋干式真空泵 产品介绍玉崎科学原装现货
一、基础概述
品牌型号：ULVAC（日本爱发科）DIS-501泵类型：双绕式涡旋干式真空泵（无油干泵）结构：1 组动涡旋盘 + 2 组固定涡旋盘两级压缩；泵腔无润滑油，风冷机型，大气压可直接启动，是 DIS 系列大流量主力机型，常作为分子泵（TMP）前级泵。
二、核心技术参数
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 设计抽速 | 50Hz：500 L/min；60Hz：600 L/min |
| 极限压力 | ≤1.0 Pa |
| 电机功率 | 600W，4 极 |
| 供电版本 | 单相：100/115/200/230V三相：200～460V 宽电压 |
| 吸气接口 | KF40 |
| 排气接口 | KF25 |
| 整机重量 | 单相机型：44 kg；三相机型：38 kg |
| 外形尺寸（单相） | 290(W) × 443(L) × 397(H) mm |
| 冷却方式 | 风冷（无需冷却水） |
| 噪音 | 单相≤62dB (A)；三相≤60dB (A) |
| 标配配置 | 运行计时表、自动复位热保护器、AF 空气吹扫接口 |
| 环境条件 | 5～40℃室内干燥环境 |
| 水蒸气耐受 | AF 开启工况下≤25g / 天（仅微量水汽） |
| 认证 | CE、cTUVus、RoHS |
三、工作原理
偏心主轴驱动动涡旋盘做圆周平动，与两组定涡旋盘形成连续变化的密闭气室；气体由外圈吸入，逐级向中心压缩排出；动静涡盘无金属摩擦接触，泵内无润滑油，输出洁净真空。
四、产品核心特点
✅ 无油洁净真空，无油雾返流，不会污染腔体、样品、光学元器件，优于油旋片泵✅ DIS 系列最大抽速机型，极限真空 1.0Pa，大腔体预抽速度快✅ 风冷设计，无需配套冷却水，设备集成布线简单✅ 低振动、低噪音，运行平稳，适配无尘车间、实验室精密设备✅ AF 空气吹扫功能，通入干燥洁净空气，抑制泵腔水汽凝结✅ 自带运行小时计，方便管理密封件保养周期；内置过热保护✅ 标准 KF 真空法兰，管路配套通用性强
五、典型应用场景
高真空系统：分子泵机组前级泵、氦质谱检漏仪配套
半导体 / 光学设备：Load-Lock 真空锁仓、小型镀膜、基板真空载台
科研分析仪器：SEM、质谱、表面分析设备、样品脱气装置
真空工艺：小型真空腔体预抽、气体回收、低温真空干燥
六、重要使用注意事项
严禁抽吸大量粉尘、液态水、有机溶剂蒸汽、卤素、腐蚀性气体；仅允许微量水汽，含水工况必须持续开启 AF 吹扫；
进气前端务必加装粉尘过滤器，固体颗粒会刮伤涡旋密封面，降低真空性能；
干式真空泵，禁止加注 SMR-100 等任何真空润滑油；
不可长期在高水汽、高粉尘恶劣工况连续运行。
七、 采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
