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ULVAC 爱发科 DIS-252 双绕式涡旋干式真空泵 产品介绍 玉崎科学仪器原装
更新时间：2026-07-28
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ULVAC 爱发科 DIS-252 双绕式涡旋干式真空泵 产品介绍 玉崎科学仪器原装现货
一、基础概述
品牌型号：ULVAC（日本爱发科）DIS-252机型类别：无油涡旋干式真空泵（双绕式结构：1 动涡盘 + 2 定涡盘）DIS 系列洁净干泵，泵腔无润滑油；风冷型，无需冷却水；大气压可直接启动，广泛用作分子泵前级泵、精密仪器真空主机。
二、核心技术参数
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 抽气速度 | 50Hz：250 L/min；60Hz：300 L/min |
| 极限压力 | ≤1.6 Pa |
| 电机功率 | 400W |
| 供电规格 | 单相 100/200V ｜三相 200/230V（机型区分） |
| 进气接口 | KF25 |
| 排气接口 | KF16 |
| 外形尺寸 | 264(W) × 397(L) × 338(H) mm |
| 整机重量 | 25 kg |
| 冷却方式 | 风冷（自然冷却） |
| 噪音 | ≤52 dB(A) |
| 标配配置 | 运行计时表、自动复位热保护器、Air Flush（AF 空气吹扫接口） |
| 环境条件 | 5～40℃室内使用 |
| 认证 | CE、RoHS、cTUVus |
三、工作原理
偏心主轴驱动动涡旋盘做圆周平动，与两组固定涡旋盘形成连续变化的密闭气室；气体由外周吸入，逐级向中心压缩排出。动、静涡盘无金属直接摩擦，泵体内无润滑油，实现洁净无油真空。
四、产品核心特点
✅ 无油洁净真空无油雾返流，不会污染腔体、样品、光学元件，优于油旋片泵。✅ 极限真空优秀极限 1.6Pa，高于 DIS-90（5Pa），预抽速度更快，适配中真空需求。✅ 风冷免水冷无需配套冷却水，布线安装简单，方便设备内置集成。✅ 低振动、低噪音运行平稳，适合实验室、精密检测设备、无尘车间。✅ AF 空气吹扫功能通入干燥氮气 / 洁净空气吹扫泵腔，抑制水汽凝结，小幅提升耐水汽能力。✅ 运维可视化自带运行小时计，方便记录运行时长，规划密封件保养周期；内置过热保护。
五、典型应用场景
精密分析仪器：氦质谱检漏仪、SEM 扫描电镜、质谱设备、表面分析仪（分子泵前级泵）
半导体 / 光学小型设备：小型镀膜机、Load-Lock 真空锁仓、晶圆载台预抽
科研实验室：小型真空腔体、样品脱气、真空干燥、气体回收装置
小型等离子设备、精密真空测试系统
六、重要使用注意事项
工况限制
严禁抽吸大量粉尘、液态水、有机溶剂蒸汽、卤素、腐蚀性气体；仅可承受微量水汽，含水工况必须持续开启 AF 吹扫。
进气前端建议加装粉尘过滤器，固体颗粒会刮伤涡旋密封面，造成真空性能衰减。
属于干式真空泵，禁止加注任何真空油（SMR-100 等油品不能使用）。
七、 采购渠道
玉崎科学仪器（深圳）有限公司 原装现货供应
地址：广东省深圳市龙华新区龙华街道906号电商集团7楼整层玉崎科学
项目负责人：林经理
