ULVAC（日本爱发科）的核心产品

一、真空泵类

1. 油旋片式真空泵

• GLD 系列：如 GLD051、GLD280、GLD-N137、GLD-N202 等，具备低噪音（<74dB）、低振动特性，支持 24 小时连续运行，广泛用于半导体镀膜、实验室真空系统、空调生产等领域，在制冷行业占据较高份额。

• VDN 系列：如 VDN-301、VDN-401、VDN601 等，可实现 10⁻²Pa 级粗真空，适配食品包装、真空吸附、小型镀膜设备等基础真空工艺，性价比突出，是中小企业的热门选择。

• VSN 系列：如 VSN1501、VSN2401，采用强制供油和缸体水冷方式，能应对全压强领域连续运转，适用于电子、检漏、干燥等对稳定性要求高的场景。

2. 干式真空泵

• LS 系列螺杆型干泵：抽气速度 120-1200m³/h，搭载 ECO-SHOCK 节能系统，高速排气且低功耗，在锂电池电极制造、电解液注液、化工反应等新能源与化工领域应用广泛，是 ULVAC 干式泵的爆款系列。

• DIS/DISL 系列涡旋型干泵：低振动、低噪音，可在大气压下启动运行，适用于半导体、精密仪器等对洁净度要求高的工艺环节，如芯片制造中的真空传输系统。

• DTC 系列隔膜型干泵：全 PTFE 材质，可安全处理 Cl₂、H₂SO₄等强腐蚀性气体，是化工合成、真空蒸馏、医药中间体生产等场景的干泵。

3. 罗茨泵及机组

• NB 系列罗茨泵：如 NB100B、NB300B、NB600B、NB1200B、NB2400B 等，常与其他真空泵组合成机组，提升抽气效率，广泛用于大型真空镀膜、半导体刻蚀、光伏电池生产等中高真空工艺。

• YM 系列罗茨泵机组：集成化设计，安装便捷，适配工业批量生产场景，在制冷、电子行业的真空干燥、检漏环节应用普遍。

二、真空镀膜与成膜设备

1. PVD 系列物理气相沉积设备：在空调等制冷行业占据大部分市场，可实现金属膜、氧化物膜等沉积，用于空调换热器、零部件的防腐与功能涂层制备，是宁波爱发科的核心生产与销售产品之一。

2. Ei/Esz 系列蒸发设备：Batch 式高真空蒸发设备，如 ei-5z、ei-7z、Esz-R 等，可在基板上沉积金属、氧化物等薄膜，适配光学镜片、电子元件、装饰件等的镀膜需求，操作面板集中控制，自动化程度高，在光学、电子行业应用广泛。

3. NE 系列沉积设备：如 NE-550EXz，采用 Load-Lock 气闸室结构，支持 2-8 英寸基板全自动处理，兼容金属、GaN、InP 等多种材料，是半导体、光电子器件制造的关键成膜设备，在电子制造领域销量稳定。

三、真空测量仪器

1. 皮拉尼真空计 SW 系列及表头 ISG1：2009 年推出，适配中低真空范围测量，响应速度快，可与多种真空泵、真空系统集成，广泛用于工业真空设备的实时监测，是宁波爱发科的主打测量产品之一。

2. Gatch 系列真空计：覆盖粗真空到高真空测量范围，精度等级丰富，适配半导体、科研、化工等不同场景的真空度检测需求，是 ULVAC 真空测量仪器的经典系列，市场认可度高。

四、其他热门配套产品

1. NOC 系列油净化装置：与油旋片真空泵配套使用，可过滤、净化真空泵油，延长油品使用寿命，降低设备维护成本，是真空泵用户的刚需配套产品。

2. NWS 系列油水分离器：用于分离真空泵排气中的油和水，减少环境污染，适配化工、制药等对环保要求高的行业，与干式、油式真空泵组合销售，销量稳定。