日本真空计以其高精度、宽量程及良好的环境适应性等优势,在半导体、真空镀膜等领域应用广泛,具体优点如下:
测量精度高:部分日本真空计采用先进的测量原理和技术,如日本 wsc 数字广域真空计 WVG-8802DM 型,将皮拉尼真空计和电离真空计相结合,能自动切换测量模式,确保测量的连续性和准确性。OKANO 冈野的 APG-202N32 真空计精度可达 ±0.25% FS±1dig。
测量范围广:许多日本真空计可覆盖较宽的压力范围,满足不同场景需求。如冈野制作所的 AMC 型真空计,测量范围为 5.0×10⁻²~1.0×10⁵Pa。WVG-8802DM 型真空计测量范围能从 4.9×10²Pa 到 1.0×10⁻⁷Pa。
稳定性好:一些真空计具备自动零点校正功能,可减少温度漂移影响,如 OKANO 的 GP 系列真空计。日本山武 azbil 蓝宝石隔膜真空计采用零点不易漂移的构造,且通过先进的信号处理技术,实现了温度特性、直线性等误差小的检测。
响应速度快:部分产品响应时间短,能快速反映真空度变化,适用于动态真空控制。如 OKANO 的热规(GP 系列)响应时间<0.5 秒。
抗干扰与抗污染能力强:OKANO 的电离规采用抗氧化阴极(IG-500A),寿命延长 3 倍,电容规(CG 系列)全金属密封,耐酸碱腐蚀。爱发科皮拉尼真空计由高度耐腐蚀的铂制成灯丝,且具有高抗冲击性的结构设计。
功能多样便捷:日本真空计通常具备多种实用功能,部分真空计配备外部触点,可通过数字开关任意设置压力,还具备灯丝远程 ON/OFF、灯丝断开信号等控制信号,便于集成到自动化设备中。一些真空计还设有灯丝加热清洗功能,可去除灯丝上的油分等附着物,保持测量准确性。