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用于半导体、电子元件的氧分析仪MS-500

更新时间:2025-07-02点击次数:23

MS-500 规格

测量原理氧化锆浓缩池类型
类型分离型(转换器:壁挂式;传感器:直接插入式)
显示系统4 位数字显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10 / 100 / 1000 ppm / 1 / 100 / 100vol%O210-20~10-0ATM
自动系列
重复性满量程的 ±0.5% 以内;范围 0-1% 或更高
在满量程的 ±1% 或 ±0.1 ppm 以内,以较大者为准;范围小于 0-1
% 浓度在 0-1 ppm 之间,大气压范围不在保修期内。
测量点数量1~8
样气要求压力10-3至 200KPa(绝对压力)
流量0.5 至 5,000 mL/min 或 0 mL/min(在自然分散状态下测量)
湿度露点低于环境温度
温度0 至 100°C
别人不得含有腐蚀性气体(氟气、氯气、硫化气等)、含有有机硅的气体、易燃物质(包括气体)、油或湿气
参比气体大气层
记录器输出仅传输输出
传输输出RS-232C 系列
警报输出没有
预热时间6 分钟或更短
尺寸MS-500(控制器)92 mm (W) ×44 mm (H)×120 mm (D)(不包括突出部分)
MS-510(转换器)100 mm(宽)×40 mm(高)×88 mm(深)(不包括突出部分)
传感器单元SD16NW型全长 100mm(传感器 ⌀ 11×39,机身 ⌀ 40×51)
SD25NW型全长 100mm(传感器 ⌀ 11×42,机身 ⌀ 40×48)
SD40NW 系列全长 100mm(传感器 ⌀ 11×41,机身 ⌀ 40×49)
重量MS-500(控制器)约 0.6 kg
MS-510(转换器)约 0.5 kg
传感器单元SD16NW型约 0.2 kg
SD25NW型约 0.2 kg
SD40NW 系列约 0.35 kg
外部连接任何真空法兰(NW16、25 或 40)
权力24VDC±10%


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